形 状 計 測

形状計測

切断せずに形状計測が可能に!

非接触でうねりや微細な形状変化の測定,面粗さ・線粗さ測定, 形状変化の体積・表面積の測定が可能
XYZトレサビリティ対応(校正証明書付きキャリブレーションゲージで校正)
計測手法
プロファイル計測
体積・面積計測
平均段差計測
平面計測
表面粗さ測定・線粗さ測定
比較計測
 

測定可能範囲  :
70mm×90mm または 18mm×270mm
・観察倍率: (モニター倍率)
低倍率モード ×12~×50
高倍率モード ×40~×160
・測定可能高さ  :
低倍率モード 10mm
高倍率モード 1mm
・表示分解能   : 0.1μm